精密加（jiā）工技術：超精密導軌及空氣靜壓軸承技（jì）術

文（wén）章（zhāng）來源：中國（guó）通（tōng）用技術（集團（tuán））控股有限責任公司　　發布時間：2023-05-20

成果93：超精密導軌及空氣靜壓軸承技（jì）術

【所屬領域】關鍵零部件

【中（zhōng）央企（qǐ）業名稱】中國通用技術（集團）控股有（yǒu）限責任公司

【成果簡介 】

本成（chéng）果麵向超精密（mì）加工技術與裝備需（xū）求，對兩類超精密（mì）關鍵（jiàn）功能（néng）部件技術產品展開攻堅。開展了多孔質節流雙（shuāng）半球（qiú）氣體靜壓軸承設計、製造及裝配工藝技術研究，掌握了（le）超（chāo）精密氣體靜壓主軸伺服控製技術。發明了一種全約束式超精密液體靜壓導軌單元結構，突（tū）破了雙膜片節流型靜壓滑塊設計技術，掌握了液體靜壓（yā）導軌裝配工藝和伺服控製技術。本成果技術難度大、創新性強，自主研製的超精（jīng）密氣體靜壓主軸和液體靜壓導（dǎo）軌總體上達（dá）到國際先進水平，其中液體靜壓（yā）導軌全行程直線（xiàn）度指標達到國際領先水平。

【主要（yào）指標】

（一）主（zhǔ）軸（zhóu）回轉精度：≤25nm

（二）主軸（zhóu）轉（zhuǎn）速：≥3000r/min

（三）導軌直線度：≤0.2μm/200mm

【應用推廣需求（qiú）】

（一）應用推廣方式（shì）：銷售、轉（zhuǎn）讓、合（hé）作實施、其他

（二）應用推廣領域：航空航（háng）天、光學、半導體、消費（fèi）電（diàn）子等領域中（zhōng）精密光學元件、複雜結構件的超精密生產製造與檢測（cè）。 

【成果圖片】