通常，按（àn）加工精度劃分，機械加工可分為一般加工、精（jīng）密加（jiā）工、超精密加工（gōng）三個（gè）階段。目前，精密加工是指加工精度為10~0.1m，表麵粗糙度為Ra0.1~0.01m，公差等級在IT5以上的（de）加工技術。
但一般加工、精密加工和超精密（mì）加工隻是一個相對概念，其間的界限將隨著加工技術的進步不斷變化，今天的精密加工（gōng）可能就是明天的一般加工
凸起字樣被緩慢地往下（xià）壓（yā）進底部，最後變成平滑表麵
看似現代科技的超（chāo）精（jīng）密加工在上個世紀早已出現
超（chāo）精密加工（gōng）的發展經曆了如下三個階段：
（1）20世紀50年代至80年代（dài）為技術開創期
出於（yú）航天（tiān）、大規模集成電路、激光等尖端技術發展（zhǎn）的需要，美國（guó）率先發展了超（chāo）精密加工技術，開發了金剛石刀（dāo）具超精密切削——單點金剛石切削（xuē）(Single point diamond turning，SPDT)技術，又稱為“微英寸技術（shù）”，用於加工激光（guāng）核聚變反射鏡（jìng）、戰術導（dǎo）彈及載人飛船用球麵、非球麵大（dà）型零件等。
（2）20世紀80年代（dài）至90年代為民間工業應用初期
在政府的支持下，美國的摩爾公司（sī）、普瑞（ruì）泰克（kè）公司開（kāi）始（shǐ）超精密加工設備（bèi）的商品化，而日本的東芝和（hé）日立以及歐洲（zhōu）Cranfield大（dà）學等也陸續推出產品，並開始（shǐ）用於民間工業光學組件的（de）製造。但當時的超精密加工設備依然高貴而稀少，主要以專用機的形式訂作。
在這一時期，可加工硬質（zhì）金屬和（hé）硬脆性材料（liào）的超精密金剛石磨削技術及磨床被開發出來，但其加工效率無法和金剛石車床相比。
（3）20世（shì）紀90年代至今（jīn）為民間工業應用成熟（shú）期
在汽車、能源、醫療器（qì）材、信息、光電和通信等產（chǎn）業（yè）的推動下，超精密加工技術廣泛應用於非球麵光學鏡片、Fresnel 鏡片、超精密模具（jù）、磁盤驅動器磁（cí）頭、磁（cí）盤基板加工、半導體晶片切割等零件的加工（gōng）。隨（suí）著超精密加工設備的相關（guān）技術，例如控製器、激（jī）光幹涉儀、空氣軸（zhóu）承精密主軸、空氣軸承導軌、油壓軸承導軌、摩擦驅動進給軸也逐漸成（chéng）熟，超精密加工設備（bèi）變為工業界常見的生產機器設備。
此外，設備精度也逐漸接近納米級水（shuǐ）平、可（kě）加工工（gōng）件的尺寸範（fàn）圍也變得更大，應用越來越廣泛。隨著數控技術的（de）發展，還（hái）出現了超精密五軸銑（xǐ）削和飛切技術。已經可以加工非（fēi）軸（zhóu）對稱非（fēi）球麵等複雜零件。
以上是“三大時期（qī）”下麵還有“三大趨（qū）勢”
超精密加工的發展趨勢主要為以下三個方麵：
(1) 高精度、高效率
超精（jīng）密加工永恒（héng）的主題。探（tàn）索能（néng）兼顧效率與（yǔ）精度的加工方法，成為超精密加（jiā）工領域研究人員的目標。
(2) 工藝整合化（huà）
高生產效率越來越成（chéng）為企業賴以生存的條件，於是出現了“以磨代研”甚至“以磨代拋”的（de）呼聲（shēng）。此外，使用一台設備完成多種加工(如車削、鑽削（xuē）、銑削、磨削、光整)的趨勢越來越明顯。
(3) 大（dà）型化、微型化
加工（gōng）航空、航天、宇航等領域（yù）的大型光電子器件，需要建立大型超精密加工設備；加工（gōng）微型（xíng）電子機械、光電信息（xī）等領域的微型器件（jiàn），需（xū）要微型超（chāo）精密加工設備。
世界最大（dà）口徑天文球麵射電望遠鏡
總的來說，超精密磨削、珩磨等固著磨粒超（chāo）精密加工技術正在追求遊離磨粒加工技術的加工精度，而遊離磨粒超精密加工（gōng）技術正在（zài）追求固著（zhe）磨粒加工的效（xiào）率。超精密加工技術正向著適於大批量生產的高效高質（zhì）量、低（dī）成本、環境友好的方向發展。
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