第18屆國際激光加工技術研討會（LPC 2024）將於（yú）9月10日（rì）（深（shēn）圳（zhèn）光博會前一天）在（zài）深圳深鐵皇冠假日酒店舉辦。LPC 2024繼續秉承以（yǐ）推動激光行業的可持續發展，搭建“產學（xué）研用”高度融合的國際交流平（píng）台（tái）為宗旨，匯聚國內外（wài）相關科研院所、高校及企業的多位專家大咖，圍繞（rào）先進光源和裝（zhuāng）備（bèi）技術、激（jī）光微納製造、激光智能製造（zào）、激光賦能新質生產力以及“光”製造（zào）行業的創新發展路徑等主題進行深入探討，結合他（tā）們最新的研究成果和成功案（àn）例分享全球激光行業的創新工藝、技術、產（chǎn）品和應（yīng）用方案，探索前沿技術、破解難點痛點、驅動熱點應用（yòng）、把脈未來趨勢、促進產業發展（zhǎn）！
演講嘉（jiā）賓
◎徐少林，南方科技大學副教授
演講題目
◎激光引（yǐn）導（dǎo）各向異性刻蝕—微結構玻璃器件精密加工技術
演講摘要
向下滑動閱覽
表麵微結構化（huà）玻璃在（zài）各類光學元件和光電器件中得到了廣泛應用。然而，現（xiàn）有的精密加工方法（fǎ）通常難以實現高效製造複雜、高自由度的玻璃微結（jié）構，這（zhè）限製了微結構化玻璃元件的應用潛力。徐少林團隊（duì）的研究發現，通（tōng）過利用激光對玻璃特定區域進行改性，可局部加速玻璃刻蝕速率，打破（pò）玻璃固有的各向同性刻（kè）蝕規律，實現沿（yán）改性軌跡引導的各向異性刻蝕過程。基於這一現（xiàn）象，團隊開發了（le）“激光引導各向異性刻（kè）蝕”技術，用於製備具有銳利特征、光滑表麵以及可調形狀和尺寸的精密玻璃微（wēi）結構。該（gāi）方法使用整形貝塞爾光束在玻璃內部創（chuàng）建高縱橫比的線形改性區域。這些改性線的蝕刻速率高於（yú）原始玻璃，並且可以（yǐ）沿著改性軌跡引導具有方向性的蝕刻（kè）去材過程，從而形成V槽結構。通過（guò）調控蝕刻速率比，可以在20至80度（dù）範圍內精確調節V槽角度。將這些改性線作為基本單元相互連接，構建（jiàn）三維內部改性區域，可以引導玻璃表（biǎo）麵形貌的整體蝕刻演化，最終（zhōng）實現具有可設計形狀和可調特征尺寸的微結構。該技術在加工各類（lèi）精密結構化玻璃元件中展現出巨大潛力，可加工用於光纖對準的V槽陣列、用於光調製的（de）閃耀光（guāng）柵，以及具有複雜設計流道的微流控芯片等。這一激光引導各向異性（xìng）刻蝕方法（fǎ）有望推動高附加值結構化（huà）玻璃器件相關研究和產業的進一步發展。
嘉賓介紹
徐少林博士（shì），現任南方科技大學機械與能源工程係長聘副教（jiāo）授（研究員），博士生導師，主要（yào）從事超快激光微納加工及應用等相關研究。日本東（dōng）北大學機械係（xì）統設計（jì）工程博士，曾任職於日本東北大學工學研究科JSPS特別研究員和助理教授，獲（huò）批主持2項日本學術振興會科研基金。中國光學學會激光加工專業委員會委員，中國機械（xiè）工程（chéng）學會極端製造分會委員，廣東省機（jī）械工程學會特種加（jiā）工分會理事。學術研究上，首次（cì）提出（chū）激光誘導周期性納米結構自對準製造、逐像素偏振圖案化脈衝激光光（guāng）刻等技（jì）術，實現了大（dà）麵積亞波長結構（gòu）圖（tú）案化高效製造；工業應用（yòng）上，開發了整形（xíng）脈衝激（jī）光輔助蝕刻技術製備玻璃晶圓微通孔/微溝槽（cáo）/微透鏡等，與企業共建“激光精（jīng）密製造與芯片先進封裝”校企聯合實驗室。近年來以通訊作者身份（fèn）發（fā）表高水平（píng）學術論文40餘篇，獨立主持國家省市級及企（qǐ）業橫向項目10餘項。
