解讀:當前光學元件超(chāo)精(jīng)密加工的兩大(dà)難點
07-15-2024
  解讀:當前(qián)光(guāng)學元件超精密加工的(de)兩大難點

  7月9日,由中(zhōng)國粉體網主(zhǔ)辦(bàn)的“2024高端研磨拋光材料技術大會(huì)”在河南鄭州成功召開。會議(yì)期(qī)間,我們邀請到多位專家學者、企業家代表做(zuò)客(kè)“對話”欄目,圍繞高端研磨拋光(guāng)材料的技術與應用現狀及發展方向(xiàng)進行了訪談交流。本期,我們(men)分享的是(shì)河南(nán)工業大學(xué)班新星副(fù)教授的專訪(fǎng)。

當(dāng)前光學元件超精密加工的兩大難點(diǎn)

  中國粉體網:請(qǐng)問班教授,光學元件的超精密製造工藝包括哪些關(guān)鍵環節?
  班教授:主要包(bāo)括超精密(mì)磨削、快速拋光(guāng)、精密修形等。磨削(xuē)的(de)作用是快速去除毛坯材料,並使元件達到一定(dìng)的形狀要求;快速拋光則是消除由於磨削加工引起的表麵和亞表麵損傷,同時進一步提升加工精度;精密修形的目的(de)是(shì)提升元件的麵形(xíng)精度(dù),以達到使用的要求。
  中國粉(fěn)體網:請問班(bān)教授(shòu),光學元件超(chāo)精密加工的(de)難點有哪(nǎ)些?
  班教授:光學元件屬於典型(xíng)的硬(yìng)脆難加工(gōng)材料,加工過程中容易產生表麵和(hé)亞表麵損傷,如何有效控製缺陷的(de)形成和(hé)提升加工精度是當前的難點。
  不同(tóng)的加工工藝方法對缺陷和精度的影響是不同的。比如,全口徑拋光的加工效率高(gāo),但對低頻誤差的控製比較困難,而子口徑拋光能夠提升麵形(xíng)精度,但效率較低,並且容易引起中頻誤差。
  中國粉體網:請問班教授,實現超精拋光的方法(fǎ)主要有哪些(xiē)?
  班教授:超精密拋光方(fāng)法主要包括(kuò):小(xiǎo)磨頭數控拋光、氣(qì)囊拋光、離子束拋光、磁流變拋光、等(děng)離子體拋光、射流拋(pāo)光等。盡管這些方法都能夠(gòu)實現光學元件最終(zhōng)納(nà)米級麵(miàn)形精度(dù)的控製。不過(guò),元件尺寸、材質(zhì)、形狀不同,所(suǒ)采(cǎi)用的方法也不一樣(yàng)。
  中國粉體網:請問班教授(shòu),我國光學超精密加工(gōng)技術與裝備發展水平(píng)如何?
  班教授:近年來得到了蓬勃發展,在天文望遠係統、強激光(guāng)裝置等領域的光學元件製造工藝和裝備實現了自主可控,但(dàn)在以光刻物鏡為代表的極端精度光學元件(jiàn)超精密加工方麵與國外先進水平存在較大的差距。
  中國粉(fěn)體(tǐ)網:請問班教(jiāo)授,您的研究方(fāng)向主要涉(shè)及哪些方麵?
  班教授:我的研究方向(xiàng)主要涉及麵形控製、工藝(yì)優化、設備開發等方麵,除了大口徑平麵光學元件之外,目前也在開展第(dì)三代半導(dǎo)體(tǐ)晶圓(yuán)超精密加工方麵的研究工作,從軍品到民品輻射,將先進的加(jiā)工技術不斷推廣到市場上去,實現工程化應用。
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